
显微镜解决方案 OLS5100
OLS5100激光扫描显微镜、激光共聚焦显微镜专为失效分析和材料工程研究而设计,将出色的测量精度和光学性能与智能工具相结合,使显微镜使用起来更加方便。它可以快速高效完成亚微米级形貌和表面粗糙度的精确测量,不仅简化了工作流程,还能提供值得信赖的数据
- 传统物镜很难在边缘区域进行准确测量。专用的LEXT物镜可准确测量边缘区域。
- 传统物镜很难在边缘区域进行准确测量。/ 专用的LEXT物镜可准确测量边缘区域。/ 有保证的测量准确度 LEXT显微镜物镜可提供高度准确的测量数据。与Smart Lens Advisor(智能镜头顾问)配合使用,可以获得值得信赖的准确数据。有保证的测量准确度 10倍至100倍物镜可减少405 nm波长的像差,在整个视场中捕捉样品的真实形貌。Smart Lens Advisor(智能镜头顾问)有助于为粗糙度测量选择合适的物镜
- 测量表面轮廓上最高点和最低点之间的台阶高差
- 轮廓测量/测量辅助工具 轮廓测量功能通过在图像中的待测位置上任意绘制测量线的方式显示表面轮廓。它还可以测量任意两个点之间的距离、宽度、横截面积和半径。与接触式测量工具不同,这种测量位置的设置非常简单。可以在图像上标记测量线和测量点,因此即使是非常小的位点也能准确测量。有了测量辅助工具,就可以使用最高值点、最低值点、中间值点和/或平均值点准确指定待测点。在所获取的数据中指定了一个位点时,可根据指定条件自动提取特征点。
- 型号
- OLS5100-SAF / OLS5100-SMF / OLS5100-LAF / OLS5100-EAF
- 综合倍率
- 54x ~ 17280x










