PlasmaPro 100 Polaris
Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器。凭借在蚀刻GaN,SiC和蓝宝石等材料方面的丰富经验,我们的技术既能够满足性价比的要求、又能使器件的性能得到更优化
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Oxford Instruments Plasma Technology PlasmaPro 100 Polaris,可提供产品参数、报价和售后服务咨询,价格面议。
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Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器
ICP Etching
单晶圆刻蚀技术的进展
凭借在蚀刻GaN,SiC和蓝宝石等材料方面的丰富经验,我们的技术既能够满足性价比的要求、又能使器件的性能得到更优化。
PlasmaPro 100 Polaris单晶圆刻蚀系统为得到更为精湛的刻蚀效果提供了智能解决方案,使您在行业中能保持竞争优势。
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专为腐蚀性的化学成分而设计
出色的刻蚀均匀性
适用于蓝宝石的静电压盘技术
蓝宝石和硅上的GaN
可与其它PlasmaPro系统集成
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