RIE等离子蚀刻设备 RIE-10NR
RIE-10NR
RIE-10NR是一种新型的低成本、高性能的全自动反应离子蚀刻系统，它能满足非腐蚀性气体化学最苛刻的工艺要求。计算机化的触摸屏为参数控制和存储提供了一个用户友好的界面
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Samco RIE-10NR，可提供产品参数、报价和售后服务咨询，价格面议。
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反应离子刻蚀
RIE等离子蚀刻设备 RIE-10NR
RIE等离子蚀刻设备 RIE-10NR新型低成本和高性能
RIE-10NR是一种新型的低成本、高性能的全自动反应离子蚀刻系统，它能满足非腐蚀性气体化学最苛刻的工艺要求。计算机化的触摸屏为参数控制和存储提供了一个用户友好的界面。该系统可实现精确的侧壁轮廓控制和材料间的高蚀刻选择性。RIE-10NR具有时尚、紧凑的设计，需要最小的洁净室空间。
主要特点和优点
最大加工范围：ø220 mm (ø3" x 5, ø4" x 3, ø8" x 1)
高选择性各向异性蚀刻满足苛刻的工艺要求。
全自动 "一键式 "操作，可完全手动操作。
计算机触摸屏为参数控制和存储提供了一个用户友好的界面。
自动压力控制，可精确控制工艺压力，不受气体流量影响。
干式泵和系统布局便于维护。
可靠和耐用的系统，全球安装了400多个系统。
Si、SiO2、SiN、Poly-Si、GaAs、Mo、Pt、Polyimide等各种材料的蚀刻。
故障分析中的选择性层蚀刻
光阻剂的灰化、剥离和除尘。
表面改性（润湿性和附着力的改善）
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