Beneq Genesis 卷对卷 ALD 系统
Genesis 是 Beneq 官方列出的商用 roll-to-roll ALD 系统，支持最高 420 mm web width 和 0.1-20 m/min 生产速度。
- 型号
- Genesis
- Web width
- up to 420 mm
- 涂层厚度
- up to 100 nm
- 最高温度
- 250°C
Genesis 是 Beneq 官方列出的商用 roll-to-roll ALD 系统，支持最高 420 mm web width 和 0.1-20 m/min 生产速度。
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