PlasmaPro 100 RIE
Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器。模式可为多种材料提供各向异性干法刻蚀工艺。实时监测清洗工艺,并且可自动停止工艺
广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Oxford Instruments Plasma Technology PlasmaPro 100 RIE,可提供产品参数、报价和售后服务咨询,价格面议。
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Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器
RIE Etching
PlasmaPro 100 RIE模式可为多种材料提供各向异性干法刻蚀工艺。
兼容200mm以下所有尺寸的晶圆
快速更换不同尺寸晶圆
购置成本低且易于维护
出色的均匀性,高产量和高工艺精度
实时监测清洗工艺,并且可自动停止工艺
电极的适用温度范围宽,-150°C至400°C
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