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PlasmaPro 100 RIE

PlasmaPro 100 RIE

Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器。模式可为多种材料提供各向异性干法刻蚀工艺。实时监测清洗工艺,并且可自动停止工艺

品牌: Oxford Instruments Plasma Technology价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Oxford Instruments Plasma Technology PlasmaPro 100 RIE 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持,价格面议。

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PlasmaPro 100 RIE
说明规格FAQ

说明

Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器

RIE Etching

PlasmaPro 100 RIE模式可为多种材料提供各向异性干法刻蚀工艺。

兼容200mm以下所有尺寸的晶圆

快速更换不同尺寸晶圆

购置成本低且易于维护

出色的均匀性,高产量和高工艺精度

实时监测清洗工艺,并且可自动停止工艺

电极的适用温度范围宽,-150°C至400°C

规格

型号PlasmaPro 100 RIE
产品分类Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器 / RIE Etching
晶圆/样品尺寸兼容200mm以下所有尺寸的晶圆 快速更换不同尺寸晶圆 购置成本低且易于维护 出色的均匀性,高产量和高工艺精度 实时监测清洗
温度范围-150°C至400°C
工艺类型原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津
工艺特点快速更换不同尺寸晶圆 购置成本低且易于维护 出色的均匀性,高产量和高工艺精度 实时监测清
工艺特点自动停止工艺 电极的适用温度范围宽,-150°C至400°C
设备能力多种材料提供各向异性干法刻蚀工艺

FAQ

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