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PlasmaPro 80 RIE

PlasmaPro 80 RIE

Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器。PlasmaPro 80是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统,可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案

品牌: Oxford Instruments Plasma Technology价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司提供 Oxford Instruments Plasma Technology PlasmaPro 80 RIE 产品资料、选型咨询、供货报价和售后服务支持,价格面议。

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PlasmaPro 80 ICPCVD
说明规格FAQ

说明

Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器

RIE Etching

PlasmaPro 80是一种结构紧凑、小尺寸且使用方便的直开式系统,可以提供多种刻蚀和沉积的解决方案。它易于放置,便于使用,且能确保工艺性能。直开式设计可实现快速晶圆装卸,是研究和小批量生产的理想选择。它通过优化的电极冷却和出色的衬底温度控制来实现高质量的工艺。

直开式设计允许快速装卸晶圆

出色的刻蚀控制和速率测定

出色的晶圆温度均匀性

晶圆最大可达200mm

符合半导体行业 S2 / S8标准

规格

型号PlasmaPro 80 RIE
产品分类Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器 / RIE Etching
工艺类型原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津
工艺特点均匀性 晶圆最大可达200mm 符合半导体行业 S2 / S8标准
产品特性 3Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器

FAQ

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