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PlasmaPro 800 RIE

PlasmaPro 800 RIE

Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器。PlasmaPro 800系列是结构紧凑、且使用方便的直开式系统,该系统为大批量晶圆和300mm晶圆上的反应离子蚀刻(RIE)工艺提供了灵活的解决方案

品牌: Oxford Instruments Plasma Technology价格: 面议服务区域: 全国

广西科米瑞实验仪器设备有限公司生产销售 Oxford Instruments Plasma Technology PlasmaPro 800 RIE,可提供产品参数、报价和售后服务咨询,价格面议。

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PlasmaPro 800 PECVD

Ald原子层沉积系统_离子束刻蚀设备_icp刻蚀系统_半导体射频器件- 牛津仪器

RIE Etching

PlasmaPro 800系列是结构紧凑、且使用方便的直开式系统,该系统为大批量晶圆和300mm晶圆上的反应离子蚀刻(RIE)工艺提供了灵活的解决方案。大尺寸的晶圆平台能够处理量产级别的批量以及300mm晶圆的工艺。

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准确的衬底温度控制

成熟的300mm单晶圆失效分析工艺

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