六足位移台Physik Instrumente (PI)型号 H-825H-825 六轴六足位移台行程:±27.5mm / ±25mm / ±14mm。旋转范围:±11.5° / ±10.5° / ±19°。最小位移:0.3µm / 0.3µm / 0.25µm型号H-825运动H-825.G2A 公差主动轴X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ