排气单元 Model:VPC-250F
关于Model:VPC-250F的介绍、购买、商讨。在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器的低成本小型高真空排气装置。使用与保养检修很简单，最适合用于实验
- 型号
- VPC-250F
- 产品分类
- 排气单元
- 极限压力
- 10 -４ Pa台
- 主泵
- 油扩散泵（空冷） 200 L/sec
排气单元 Model:VTR-350M/X
日本語 English 中文。真空泵(高真空)。排气单元。Model:VTR-350M/X。ULVAC KIKO。关于Model:VTR-350M/X的介绍、购买、商讨。可以在不停止主泵的情况下打开真空室。使用三通阀，组件更少，维修更容易。真空计等配件可以安装在同一个架台上。空冷型，不需要冷却水。带有轮子，易于移...
- 型号
- VTR-350M/X
- 产品分类
- 排气单元
- 极限压力
- 7.0×10 -４ Pa
- 主泵
- 油扩散泵（空冷） 50 L/sec
排气单元 Model:VTS-350M/X
日本語 English 中文。真空泵(高真空)。排气单元。Model:VTS-350M/X。ULVAC KIKO。关于Model:VTS-350M/X的介绍、购买、商讨。可以在不停止主泵的情况下打开真空室。使用三通阀，组件更少，维修更容易。真空计等配件可以安装在同一个架台上。空冷型，不需要冷却水。带有轮子，易于移...
- 型号
- VTS-350M/X
- 产品分类
- 排气单元
- 极限压力
- 7.0×10 -４ Pa
- 主泵
- 油扩散泵（空冷） 50 L/sec
排气单元 Model:VWR-400M/X
日本語 English 中文。真空泵(高真空)。排气单元。Model:VWR-400M/X。ULVAC KIKO。关于Model:VWR-400M/X的介绍、购买、商讨。可以在不停止主泵的情况下打开真空室。使用三通阀，组件更少，维修更容易。真空计等配件可以安装在同一个架台上。空冷型，不需要冷却水。带有轮子，易于移...
- 型号
- VWR-400M/X
- 产品分类
- 排气单元
- 极限压力
- 7.0×10 -４ Pa
- 主泵
- 油扩散泵（空冷） 50 L/sec
溅射离子泵 Model:GST-07L-B
关于Model:GST-07L-B的介绍、购买、商讨。单个装置可以控制所有离子溅射泵（Model:PST）。通讯设备标准配件 外部通信控制功能是标准配置，因此可以进行远程控制和自动操作
- 型号
- GST-07L-B
- 产品分类
- 溅射离子泵
- Attachable pump
- Actor pump (all models in PST series)
- Operating pressure
- 10 -2 to 10 -4 Pa or lower
溅射离子泵 Model:PST
关于Model:PST的介绍、购买、商讨。应用于极・超真空，已通过ISO标准，极限压力10 -9 Pa测试。稀有气体排气增强型（AU型）的排气性能是氩气的两倍。*1 GST-07L-B型控制器使用时
- 型号
- PST
- 产品分类
- 溅射离子泵
- 型号
- PST-030CU / PST-030AU / PST-050CU / PST-050AU / PST-100CX / PST-100AX
- 主要对象气体
- 活性气体 / 希有气体 / 活性气体 / 希有气体 / 活性气体 / 希有气体
油扩散泵 Model:PBL
关于Model:PBL的介绍、购买、商讨。ULVAC的PBL型油扩散喷射泵、是在中真空领域可以提高排气速度的扩散泵。有效对应异物混入，从发售开始一直畅销至今。・PBL-02～PBL-04型使用不锈钢作为主体（气缸）
- 型号
- PBL
- 产品分类
- 油扩散泵
- 型号
- PBL-02 / PBL-04 / PBL-06 / PBL-10 / PBL-14 / PBL-20
- 排气速度
- 80 L/sec / 200 L/sec / 500 L/sec / 1800 L/sec / 4000 L/sec / 7000 L/sec
油扩散泵 Model:PFL
关于Model:PFL的介绍、购买、商讨。与其他相同口径的泵相比，具有更高的抽速。焊接技术非常好，使用氦气检漏仪进行过完整的泄漏测试，因此具有非常高的机械性和真空性
- 型号
- PFL
- 产品分类
- 油扩散泵
- 型号
- PFL-22 / PFL-22TM / PFL-36 / PFL-52
- 排气速度
- 10,000 L/sec / 10,000 L/sec / 34,000 L/sec / 70,000 L/sec
油扩散泵 Model:ULK
关于Model:ULK的介绍、购买、商讨。没有机械式的滑动部分，坚固型高真空泵。有2种油和加热器可供选择，能够满足所需要的排气速度、到达压力。*1 当冷却水量为20℃时，极限压力基于电离真空计
- 型号
- ULK
- 产品分类
- 油扩散泵
- 型号
- ULK-04A / ULK-06A / ULK-10A / ULK-14A
- 排气速度
- 550L/sec / 500L/sec / 1,200L/sec / 1,100L/sec / 3,400L/sec / 3,000L/sec / 5,400L/sec / 4,900L/sec
涡轮分子泵 Model:UTM-B
关于Model:UTM-B的介绍、购买、商讨。安装方向自由 安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度。搭载控制器 控制器安装在主体上，有效地减少了布线并减小了排气系统的尺寸
- 型号
- UTM-B
- 产品分类
- 涡轮分子泵
- 型号
- UTM70B / UTM300B
- 泵体
- 冷却方式 / 自然空冷 / 強制空冷 / 自然空冷 / 強制空冷
涡轮分子泵 Model:UTM-MI
关于Model:UTM-MI的介绍、购买、商讨。泵体和控制器一体化 泵体和控制器之间不需要复杂的布线工作。安装方向自由 安装方向没有限制，扩展了设备设计的自由度
- 型号
- UTM-MI
- 产品分类
- 涡轮分子泵
- 型号
- UTM1200A / UTM1600A / UTM2300A / UTM3400A
- 吸气口
- VG 150 / ISO 160F / VG 200 / VG 250 / ISO 200F / ISO 250F / VG 250 / ISO 250F / VG 300 / VG 350 / ISO 320F
涡轮分子泵 Model:UTM-MS
关于Model:UTM-MS的介绍、购买、商讨。涡轮分子泵，带有使用磁悬浮轴承的独立控制器。我们有抽速为300~4000 L/s 的型号阵容。控制器单元可以监控运行状态并支持各种通信标准
- 型号
- UTM-MS
- 产品分类
- 涡轮分子泵
- 型号
- UTM300A-MS / UTM400A-MS / UTM800A-MS / UTM1000A-MS
- Inlet port
- VG100 / ICF152 / VG150 / ICF203 / VG200 / ICF253
涡轮分子泵 Model:VPT-060
日本語 English 中文。真空泵(高真空)。涡轮分子泵。Model:VPT-060。关于Model:VPT-060的介绍、购买、商讨。完全干燥的排气装置。安装空间紧凑。
- 型号
- VPT-060
- 产品分类
- 涡轮分子泵
- 50Hz
- 60Hz
- 极限压力
- 10 -5 Pa
涡轮分子泵 Model:YTP70B
关于Model:YTP70B的介绍、购买、商讨。考虑到在台面上使用的环境，降低了运转时的噪音、振动。低噪音 运转声音在43dB以下，十分安静。出色的操作性 配备触摸屏，提高了操作性
- 型号
- YTP70B
- 产品分类
- 涡轮分子泵
- 型号
- YTP70B-D
- 到达压力 *1
- Pa / 10 -6
涡轮分子泵 Model:YTPｰB
关于Model:YTPｰB的介绍、购买、商讨。辅助泵可以选择：辅助泵除了可以选择搭载油回转泵的标准型以外，还可以选择搭 载干泵的规格。优良的停电对策：前级阀门为标配的电磁阀，防止停电时候逆流发生故障
- 型号
- YTPｰB
- 产品分类
- 涡轮分子泵
- 型号
- YTP- 50MB / YTP- 50SAB / YTP- 50MB-DRY / YTP- 50SAB-DRY / YTP- 300MB / YTP- 300SAB / YTP- 300MB-DRY / YTP- 300SAB-DRY
- 吸气口
- ICF114, VG65, ISO63-K / ICF152, VG100, ISO100-K
独立系统 HELIOT900 系列 Model:HELIOT901D2
关于Model:HELIOT901D2的介绍、购买、商讨。高排气能力 采用ULTRA流量，可实现5L/s的氦气抽速。采用独立于主机的平板电脑控制器 标准配有无线遥控功能
- 型号
- HELIOT901D2
- 产品分类
- 独立系统 HELIOT900 系列
- 型号
- 901W1 / 901D2 / 904W2 / 904D3R / 904D4R
- Type
- Base type / Mobile type
独立系统 HELIOT900 系列 Model:HELIOT901W1
关于Model:HELIOT901W1的介绍、购买、商讨。高排气能力 采用ULTRA流量，可实现5L/s的氦气抽速。采用独立于主机的平板电脑控制器 标准配有无线遥控功能
- 型号
- HELIOT901W1
- 产品分类
- 独立系统 HELIOT900 系列
- 型号
- 901W1 / 901D2 / 904W2 / 904D3R / 904D4R
- Type
- Base type / Mobile type
独立系统 HELIOT900 系列 Model:HELIOT904D3R
Model:HELIOT904D3R。关于Model:HELIOT904D3R的介绍、购买、商讨。高排气能力 采用ULTRA流量，可实现5L/s的氦气抽速。采用独立于主机的平板电脑控制器 标准配有无线遥控功能
- 型号
- HELIOT904D3R
- 产品分类
- 独立系统 HELIOT900 系列
- 型号
- 901W1 / 901D2 / 904W2 / 904D3R / 904D4R
- Type
- Base type / Mobile type
独立系统 HELIOT900 系列 Model:HELIOT904D4R
Model:HELIOT904D4R。配备 500 L/min 干泵的移动式泄漏检测器，是该Model中最大的干泵。关于Model:HELIOT904D4R的介绍、购买、商讨
- 型号
- HELIOT904D4R
- 产品分类
- 独立系统 HELIOT900 系列
- 型号
- 901W1 / 901D2 / 904W2 / 904D3R / 904D4R
- Type
- Base type / Mobile type
独立系统 HELIOT900 系列 Model:HELIOT904W2
关于Model:HELIOT904W2的介绍、购买、商讨。高排气能力 采用ULTRA流量，可实现5L/s的氦气抽速。采用独立于主机的平板电脑控制器 标准配有无线遥控功能
- 型号
- HELIOT904W2
- 产品分类
- 独立系统 HELIOT900 系列
- 型号
- 901W1 / 901D2 / 904W2 / 904D3R / 904D4R
- Type
- Base type / Mobile type
CVD/ALD/刻蚀工艺 Model: Qulee RGM2-202
Model: Qulee RGM2-202。关于Model: Qulee RGM2-202的介绍、购买、商讨。可以在反应过程中长时间进行稳定的测量。采用具有磁场的Claude离子源 软电离可防止在高灵敏度电离室因热反应而产生的分解和吸附，同时气体离解较少
- 型号
- Qulee RGM2-202
- 产品分类
- CVD/ALD/刻蚀工艺
- 型号
- RGM2-202 / RGM2-302
- 质量分离方式
- 四极型质量分析仪
CVD/ALD/刻蚀工艺 Model: Qulee RGM2-302
Model: Qulee RGM2-302。关于Model: Qulee RGM2-302的介绍、购买、商讨。可以在反应过程中长时间进行稳定的测量。采用具有磁场的Claude离子源 软电离可防止在高灵敏度电离室因热反应而产生的分解和吸附，同时气体离解较少
- 型号
- Qulee RGM2-302
- 产品分类
- CVD/ALD/刻蚀工艺
- 型号
- RGM2-202 / RGM2-302
- 质量分离方式
- 四极型质量分析仪
CVD/ALD/刻蚀工艺 Model: Qulee RGM2-201F
Model: Qulee RGM2-201F。最适合用于CVD/刻蚀/ALD过程管理。关于Model: Qulee RGM2-201F的介绍、购买、商讨。排气系统和控制系统集成，实现纵向放置，即使在空间有限的生产线上也可以进行反应气体监测，因为足迹是世界上最小的
- 型号
- Qulee RGM2-201F
- 产品分类
- CVD/ALD/刻蚀工艺
- 质量数范围 (amu)
- 1~200
- 分辨率 (M/ΔM)
- M/ΔM=1M(10%P.H.)
大气压环境工艺 Model:Qulee with YTP-H 大气压规格
Model:Qulee with YTP-H 大气压规格。最适合用于大气压下的环境测量（气体分析）。关于Model:Qulee with YTP-H 大气压规格的介绍、购买、商讨
- 型号
- Qulee with YTP-H 大气压规格
- 产品分类
- 大气压环境工艺
- Qulee main body
- Select from BGM2-101 / 102 / 201 / 202, HGM2-302 ＊Refer to the product catalogue for the specification of Qulee
- Sampling pressure
- Atmospheric pressure
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