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隔膜型干泵标准规格（一段式）ULVAC型号 DAP-18S-DC24

隔膜型干泵标准规格（一段式） Model:DAP-18S-DC24

Model:DAP-18S-DC24。关于Model:DAP-18S-DC24的介绍、购买、商讨。价格低廉，销售量多的标准型干式真空泵。具有锁定保护和过流保护功能等安全设计

型号: DAP-18S-DC24
产品分类: 隔膜型干泵标准规格（一段式）
有效排气速度: L/min / 18
极限压力 ※1: Pa (kPa) / 24.0×10 3 （-77.3）

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隔膜型干泵标准规格（一段式）ULVAC型号 DAT-100S

隔膜型干泵标准规格（一段式） Model:DAT-100S

关于Model:DAT-100S的介绍、购买、商讨。价格低廉，销售量多的标准型干式真空泵。具有锁定保护和过流保护功能等安全设计

型号: DAT-100S
产品分类: 隔膜型干泵标准规格（一段式）
Unit: 50Hz / 60Hz
有效排气速度: L/min / 100 / 110

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螺杆型干泵ULVAC型号 LS

螺杆型干泵 Model:LS

关于Model:LS的介绍、购买、商讨。■大气压附近的排气速度最大为80m3/h，与以往的真空泵相比，排气时间可缩短约20%。■标配的专用消音器能解决干式真空泵特有的噪音问题

型号: LS
产品分类: 螺杆型干泵
型式: （C：C式样）（L：L式样） / LS120A / LS300A / LS600A / LS1200A
C: L / C / L / C / L / C / L

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螺杆型干泵ULVAC型号 MS

螺杆型干泵 Model:MS

关于Model:MS的介绍、购买、商讨。" Model:MS " 是螺杆型干式真空泵。在传统的 " Model:LS " 的基础上，提高了耐腐蚀性和粉末排出性能

型号: MS
产品分类: 螺杆型干泵
型式: MS120A / MS600A / MS1200A
最大排气速度 *1: m 3 /h / 115 / 560 / 980

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排气单元ULVAC型号 VMR-050

排气单元 Model:VMR-050

关于Model:VMR-050的介绍、购买、商讨。在排气速度下降的压力范围，内置的辅助泵可以使排气速度有显著的提升。只需一个启动按钮，就可以在一段时间内从大气压力到极限压力

型号: VMR-050
产品分类: 排气单元
极限压力: 4.0×10 -２ Pa
主泵: 机械增压泵 833 L/min （ at 100Pa ）

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罗茨泵ULVAC型号 MBS-053

罗茨泵 Model:MBS-053

关于Model:MBS-053的介绍、购买、商讨。在排气速度下降的压力范围，内置的辅助泵可以使排气速度有显著的提升。通过采用DC无刷电机，可以根据负载以最佳转速运行，因此可以从大气压力开始抽真空

型号: MBS-053
产品分类: 罗茨泵
Unit: Specifications
Actual Pumping Speed ※1: m 3 /h / 50

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罗茨泵ULVAC型号 PMB-D

罗茨泵 Model:PMB-D

关于Model:PMB-D的介绍、购买、商讨。通过安装空冷逆变器，可在整个压力范围内进行空冷运作。可选多电压电机（200V级，多电压）与通用电机兼容，因此也可以安装防爆电机（选件）

型号: PMB-D
产品分类: 罗茨泵
型号*1: PMB100D / PMB300D / PMB600D / PMB1200D / PMB2400D
最大排气速度: 50 Hz / m 3 /h (L/min) / 95 (1,580) / 280 (4,670) / 500 (8,330) / 1,000 (16,667) / 2,000 (33330) / 2,500 (41,667)

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罗茨泵ULVAC型号 PMB-C

罗茨泵 Model:PMB-C

关于Model:PMB-C的介绍、购买、商讨。由于没有润滑油，因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽，也可以具有稳定性。增加了设备设计的自由度，并且可以使设备更紧凑。Note) 此目录使用 SI单位系统

型号: PMB-C
产品分类: 罗茨泵
型号: PMB-040C / PMB-060C
抽气速率: 50Hz / 3,800 m 3 /h (63,300 L/min) / 6,200 m 3 /h (103,300 L/min)

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罗茨泵ULVAC型号 PRC

罗茨泵 Model:PRC

关于Model:PRC的介绍、购买、商讨。无油由于没有润滑油，因此对于水蒸气和溶剂等的蒸汽，也可以具有稳定性。采用密封电机通过采用密封电机，可以不需要大气/真空机械密封

型号: PRC
产品分类: 罗茨泵
型号 *1: PRC-003A / PRC-006A / PRC-012A / PRC-018A
最大排气速度: 50Hz / 280 m 3 /h （4670 L/min） / 500 m 3 /h （8330 L/min） / 1000 m 3 /h （16700 L/min） / 1500 m 3 /h （25000 L/min）

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多级罗茨型干泵ULVAC型号 CR

多级罗茨型干泵 Model:CR

关于Model:CR的介绍、购买、商讨。由于排气室是非接触的并且不使用油，因此可以长时间稳定排气。无需冷却水和氮气，有助于降低运行成本。安装了DC密封电机实现节能，气密和减重

型号: CR
产品分类: 多级罗茨型干泵
型号: CR16B / CR30B / CR60B-S / CR60B-T / CR300B
最大排气速度: m 3 /h / 16 / 30 / 55 / 300

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多级罗茨型干泵ULVAC型号 ECO-SHOCK

多级罗茨型干泵 Model:ECO-SHOCK

关于Model:ECO-SHOCK的介绍、购买、商讨。对节能的贡献干泵的耗电量最大可减少80%（与本公司产品相比）。此外，还有抑制干泵发热作用，降低空调设备的电力消耗

型号: ECO-SHOCK
产品分类: 多级罗茨型干泵
型式: ES10 / ES4A
电源: 规格 / 单相 AC100～220V 50/60Hz / 单相 AC200～220V±5% 50/60Hz

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多级罗茨型干泵ULVAC型号 GR

多级罗茨型干泵 Model:GR

关于Model:GR的介绍、购买、商讨。可应用于大气真空间反复抽气的高负荷领域，可在高负荷下持续使用。适用load lock室（装载/卸载室），可实现高吞吐量。真空干燥，真空气体置换和真空脱泡等一般产业

型号: GR
产品分类: 多级罗茨型干泵
型号: GR60A / GR90A / GR180A
最大排气速度: 50Hz / m 3 /h(L/min) / 62(1030) / 112(1860) / 183(3100)

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多级罗茨型干泵ULVAC型号 HR

多级罗茨型干泵 Model:HR

关于Model:HR的介绍、购买、商讨。高温区域均热化实现将CVD、蚀刻等工艺中产生的升化性排气物质以气体状态排出。“ Model:UR ” 可比 “Model: HR ” 更加高温化

型号: HR
产品分类: 多级罗茨型干泵
型号: HR60 / HR90 / HR300 / HR600 / HR1200
使用泵: 干式真空泵 / HR60 / HR90 / HR60 / HR90 / HR90

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多级罗茨型干泵ULVAC型号 LR

多级罗茨型干泵 Model:LR

关于Model:LR的介绍、购买、商讨。低温区域均热化（Model:LR）在PVD工艺之外，尤其适于那些为了提高产能而需要缩短排气时间的重要的备料下料室排气的一款泵

型号: LR
产品分类: 多级罗茨型干泵
型号: LR60 / LR90 / LR180 / LR421 / LR421-T
最大排气速度: 50Hz / 62 m 3 /h (1030 L/min) / 112 m 3 /h (1860 L/min) / 183 m 3 /h (3100 L/min) / 440 m 3 /h (7333 L/min) / 440 m 3 /h (7333 L/min)

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多级罗茨型干泵ULVAC型号 RDA-281H

多级罗茨型干泵 Model:RDA-281H

关于Model:RDA-281H的介绍、购买、商讨。●：标准、○：可选对应、－：对应不可。2 吸入有害气体如爆炸性气体，易燃气体，有毒气体，腐蚀性气体，有机溶剂气体等，可能会因气体本身，爆炸或火灾而导致泵故障

型号: RDA-281H
产品分类: 多级罗茨型干泵
有效排气速度: L/min / 280
极限压力：F.A开时（F.A关时） ※: Pa / ≦8.0×10 -2 （≦6.0）

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多级罗茨型干泵ULVAC型号 RDA-501H

多级罗茨型干泵 Model:RDA-501H

关于Model:RDA-501H的介绍、购买、商讨。Analytical equipment.。Gas recovery system.。Coating equipment.

型号: RDA-501H
产品分类: 多级罗茨型干泵
有效排气速度: L/min / 500
极限压力：F.A开时（F.A关时） ※: Pa / ≦8.0×10 -2 （≦6.0）

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多级罗茨型干泵ULVAC型号 RS

多级罗茨型干泵 Model:RS

关于Model:RS的介绍、购买、商讨。■ 大气压附近的排气速度高，可以缩短排气时间。■ ECO-SHOCK技术实现低功耗（C型号）极限压力下的功耗为0.6 kW或更低（LS120A-C） ■ 配有专用的消音器极限压力下的噪音水平为61 dB（A）或更低 ■ 无需先前所需要的轴封气体 ※L型可以使用稀释气体

型号: RS
产品分类: 多级罗茨型干泵
消音器套件名称: 适用泵 / 附属品
卡箍: O型座 / 连接配管 / 支架

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