动态二次离子质谱仪(D-SIMS)PHI / Physical Electronics型号 PHI ADEPT-1010动态二次离子质谱仪(D- SIMS)ADEPT-1010型四级杆动态SIMS采用独特的二次离子提取系统,该系统能够提高二次离子传输性能。高的离子传输性能提高了深度分析的检测限,使得ADEPT能够出色完成对离子注入结构的深度和剂量检测任务。