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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-733.Z

P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中

型号: P-733.Z
P-733.ZCD/P-733.ZCL: 单位公差
集成传感器: 电容式
-20至120 伏时的开环行程: 115 微米 +20 % / -0 %

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-750

P-750 压电陶瓷纳米定位系统

带电容传感器的直接计量可实现最高精度。PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命。*每1赫兹和1微米的动态操作电流效率，单位为微安。例：10赫兹下30微米的正弦扫描需要约3.8毫安的驱动电流

型号: P-750
闭环/开环行程: 闭环/开环分辨率负载容量倾斜Θ X , Θ Y 谐振频率（空载）
P-750.00: – / 75微米 – / 0.4微米 100 牛 ±10微弧度 600 赫兹
带电容式传感器的P-750.20: 75 微米 / 75 微米 1 纳米 / 0.4 纳米 100 牛 ±10微弧度 600 赫兹

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-752

P-752 高精度纳米定位平台

无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动精度。PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命。P-752.11C以3纳米的振幅实现方波控制时的响应行为。亚纳米分辨率、稳定性和双向重复精度均清晰可见

型号: P-752
P-752.11C: P-752.1CD P-752.21C P-752.2CD 单位公差
主动轴: X X X X
集成传感器: 电容式电容式电容式电容式

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-753

P-753 LISA线性促动器和平台

M2.5螺纹上的最大力矩：0.3 牛米。M2.5螺纹上的最大力矩：0.3 牛米。M2.5螺纹上的最大力矩：0.3 牛米。电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触

型号: P-753
P-753.1CD: P-753.2CD P-753.3CD 单位公差
主动轴: X X X
集成传感器: 电容式电容式电容式

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-517

P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪

2轴和3轴版本（XY和XYθ Z 型）。P-517/P-527，尺寸单位为mm。PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍

型号: P-517
运动: P-517.2CD P-517.2CL P-517.3CD P-517.3CL P-517.RCD P-527.2CD P-527.2CL P-527.3CD P-527.3CL P-527.RCD 公差
主动轴: X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ θZ X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ θZ
X向的行程: 100 µm 100 µm 100 µm 100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 200 µm 200 µm 200 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-518

P-518 • P-528 压电陶瓷Z向偏摆位移台

Z向行程/偏摆角：闭环最高200µm/2mrad（开环最高240µm/2.4mrad）

型号: P-518
运动: P-518.TCD P-518.ZCD P-518.ZCL P-528.TCD P-528.ZCD P-528.ZCL 公差
主动轴: Z ǀ θX ǀ θY Z Z Z ǀ θX ǀ θY Z Z
Z向的行程: 100 µm 100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 200 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-561

P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台

X轴和Y轴采用并联运动机构，响应速度更快，多轴精度更高

型号: P-561
运动: P-561.3CD P-561.3CL P-562.3CD P-562.3CL P-563.3CD P-563.3CL P-561.3DD 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z
X向的行程: 100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 300 µm 300 µm 45 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-562.6CD

P-562.6CD PIMars6轴纳米定位平台

6个运动轴：3 × 线性，3 × 旋转。线性行程可达200µm，偏摆角可达1mrad。PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命。请注意，图纸中以逗号作为小数点分隔符

型号: P-562.6CD
运动: P-562.6CD 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ
X向的行程: 200 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-611.3

P-611.3 NanoCubeXYZ压电陶瓷系统

行程达120 µm × 120 µm × 120 µm。紧凑型：44mm × 44mm × 44mm。PICMA 压电陶瓷促动器带来长使用寿命。PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

型号: P-611.3
运动: P-611.3O P-611.3OF P-611.3S P-611.3SF 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z
X向的行程: — — 100 µm 100 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-733.2

P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器

X和Y向上的行程达100微米×100微米。50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用。P-733.2CD/.2CL，尺寸单位为毫米。电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触

型号: P-733.2
P-733.2CD P-733.2CL: P-733.2DD 单位公差
主动轴: X, Y X, Y
集成传感器: 电容式电容式

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-733.3

P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器

X和Y向上的行程达100微米 × 100微米，Z向上的行程达10微米。50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用。P-733.3CD / .3CL, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal p...

型号: P-733.3
P-733.3CD P-733.3CL: P-733.3DD 单位公差
主动轴: X、Y、Z X、Y、Z
集成传感器: 电容式电容式

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 S-316

S-316 压电陶瓷Z向偏摆扫描仪

S-316[H]，尺寸单位为mm 符合DIN ISO 2768-f-H的通用公差适用于所有非容许尺寸。请注意，在图中使用逗号代表小数点

型号: S-316
运动: S-316.10 S-316.10H 公差
主动轴: Z ǀ θX ǀ θY Z ǀ θX ǀ θY
Z向的行程: 12 µm 12 µm

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