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DuraMax HTG
测量体积
500 × 500 × 500 mm3 / 500 × 500 × 500 mm3
扩展温度范围 （ZEISS TVA 1）E0/E40，单位为µm
2.7 + L/250 18 °C - 26 °C / 2.5 + L/250 18 °C - 26 °C
扩展温度范围 （ZEISS TVA 2）E0/E40，单位为µm
2.9 + L/200 18 °C - 30 °C / 2.7 + L/200 18 °C - 30 °C
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