S-330 压电偏摆台
高谐振频率可达1.6kHz(1"反射镜),可实现动态运动以及快速步进和稳定。S-330.2SH:在不同E-727控制器和反射镜尺寸下的系统频率响应。E-727控制器型号的不同性能水平会显著影响系统的动态特性
- 型号
- S-330
- 运动
- S-330.2SH S-330.2SL S-330.4SH S-330.4SL S-330.8SH S-330.8SL 公差
- 主动轴
- θX ǀ θY θX ǀ θY θX ǀ θY θX ǀ θY θX ǀ θY θX ǀ θY
- θX向上的旋转范围
- 2 mrad 2 mrad 5 mrad 5 mrad 10 mrad 10 mrad