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极其节省空间：边缘长度仅为20毫米，高度为10毫米。快速精密定位小型负载：速度达720 度/秒，最小位移达525微弧度。U-622, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.

型号: U-622
运动: U-622.03 单位公差
主动轴: θ Z
旋转范围: >360 °

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微型位移平台Physik Instrumente (PI)型号 U-624

U-624 PILine转台

极其节省空间：边缘长度仅为30毫米，高度为12毫米。快速精密定位小型负载：速度达720 度/秒，最小位移达105微弧度。多轴装置由两个U-521线性平台和一个U-624转台组成，无接装板

型号: U-624
运动: U-624.03 单位公差
主动轴: θ Z
旋转范围: >360 °

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微型位移平台Physik Instrumente (PI)型号 U-628

U-628 PILine转台

紧凑：边缘长度为50 毫米，高度为19毫米。快速精密定位负载：速度达720 度/秒，最小位移达51微弧度。PILine平台尤其适合要求快速精密定位的应用。关机后，自锁驱动器保持平台位置的机械稳定

型号: U-628
运动: U-628.03 单位公差
主动轴: θ Z
旋转范围: >360 °

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微型位移平台Physik Instrumente (PI)型号 U-651

U-651 回转台（低矮外形设计）

两个旋转方向上的驱动力矩均达0.3Nm。按照参考位定义的0°标记 [1] 位置。PILine平台尤其适合要求快速精密定位的应用。关机后，自锁驱动器保持平台位置的机械稳定

型号: U-651
运动: U-651.03 U-651.04 公差
主动轴: θZ θZ
θZ向的旋转范围: > 360 ° > 360 °

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-611.1

P-611.1 线性压电陶瓷定位系统

极其经济实惠的系统（机械部件和控制器）。PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命。可提供Z向位移台、XY、XZ和XYZ版本。P-611.1S的重复精度为2.7纳米

型号: P-611.1
P-611.1S: P-611.10 单位公差
主动轴: X X
集成传感器: 应变片传感器 -

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-611.Z

P-611.Z 压电Z向位移台

结构紧凑：表面仅44 毫米×44 毫米。极其经济实惠的系统（机械部件和控制器）。PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命。负载为30克的P-611.ZS执行10微米步进的稳定时间为26毫秒

型号: P-611.Z
P-611.ZS: P-611.Z0 单位公差
主动轴: Z Z
集成传感器: 应变片传感器 -

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-612.Z

P-612.Z 压电陶瓷Z向位移台

PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命。配备主动控制装置，全行程内的稳定时间小于10ms。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍。它们被证明可实现无故障运行1000亿个循环

型号: P-612.Z
运动: P-612.ZSL 公差
Z向的行程: 100 µm
Z向的开环行程，电压-20至120V: 110 µm +20 % / -0 %

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-620.1

P-620.1 – P-629.1 PIHera压电陶瓷线性精密定位器

P-62x.1CD/.1CL/.10L，尺寸单位为mm。

型号: P-620.1
运动: P-620.10L P-620.1CD P-620.1CL P-621.10L P-621.1CD P-621.1CL P-622.10L P-622.1CD P-622.1CL P-625.10L P-625.1CD P-625.1CL P-628.10L P-628.1CD P-628.1CL P-629.10L P-629.1CD P-629.1CL 公差
主动轴: X X X X X X X X X X X X X X X X X X
X向的行程: — 50 µm 50 µm — 100 µm 100 µm — 250 µm 250 µm — 500 µm 500 µm — 800 µm 800 µm — 1500 µm 1500 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-620.Z

P-620.Z - P-622.Z PIHera垂直精密定位器

行程范围50µm至250µm（350µm开环）。P-62x.ZCD / .ZCL / .Z0L，尺寸单位为mm。PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍

型号: P-620.Z
运动: P-620.Z0L P-620.ZCD P-620.ZCL P-621.Z0L P-621.ZCD P-621.ZCL P-622.Z0L P-622.ZCD P-622.ZCL 公差
主动轴: Z Z Z Z Z Z Z Z Z
Z向的行程: — 50 µm 50 µm — 100 µm 100 µm — 250 µm 250 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-733.Z

P-733.Z 高动态Z向纳米定位器/扫描仪

电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触。它们可确保优异的运动线性、长期稳定性和千赫兹范围的带宽。机械部件和控制器可按需组合、快速更换。所有伺服和线性化参数均存储在机械部件的Sub-D连接器的ID芯片中

型号: P-733.Z
P-733.ZCD/P-733.ZCL: 单位公差
集成传感器: 电容式
-20至120 伏时的开环行程: 115 微米 +20 % / -0 %

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-750

P-750 压电陶瓷纳米定位系统

带电容传感器的直接计量可实现最高精度。PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命。*每1赫兹和1微米的动态操作电流效率，单位为微安。例：10赫兹下30微米的正弦扫描需要约3.8毫安的驱动电流

型号: P-750
闭环/开环行程: 闭环/开环分辨率负载容量倾斜Θ X , Θ Y 谐振频率（空载）
P-750.00: – / 75微米 – / 0.4微米 100 牛 ±10微弧度 600 赫兹
带电容式传感器的P-750.20: 75 微米 / 75 微米 1 纳米 / 0.4 纳米 100 牛 ±10微弧度 600 赫兹

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-752

P-752 高精度纳米定位平台

无摩擦柔性铰链导向可实现极高的运动精度。PICMA压电陶瓷促动器带来超长使用寿命。P-752.11C以3纳米的振幅实现方波控制时的响应行为。亚纳米分辨率、稳定性和双向重复精度均清晰可见

型号: P-752
P-752.11C: P-752.1CD P-752.21C P-752.2CD 单位公差
主动轴: X X X X
集成传感器: 电容式电容式电容式电容式

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-753

P-753 LISA线性促动器和平台

M2.5螺纹上的最大力矩：0.3 牛米。M2.5螺纹上的最大力矩：0.3 牛米。M2.5螺纹上的最大力矩：0.3 牛米。电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触

型号: P-753
P-753.1CD: P-753.2CD P-753.3CD 单位公差
主动轴: X X X
集成传感器: 电容式电容式电容式

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-517

P-517 • P-527 多轴压电陶瓷扫描仪

2轴和3轴版本（XY和XYθ Z 型）。P-517/P-527，尺寸单位为mm。PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命。PICMA促动器的使用寿命是传统聚合物绝缘促动器的十倍

型号: P-517
运动: P-517.2CD P-517.2CL P-517.3CD P-517.3CL P-517.RCD P-527.2CD P-527.2CL P-527.3CD P-527.3CL P-527.RCD 公差
主动轴: X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ θZ X ǀ Y X ǀ Y X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ θZ
X向的行程: 100 µm 100 µm 100 µm 100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 200 µm 200 µm 200 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-518

P-518 • P-528 压电陶瓷Z向偏摆位移台

Z向行程/偏摆角：闭环最高200µm/2mrad（开环最高240µm/2.4mrad）

型号: P-518
运动: P-518.TCD P-518.ZCD P-518.ZCL P-528.TCD P-528.ZCD P-528.ZCL 公差
主动轴: Z ǀ θX ǀ θY Z Z Z ǀ θX ǀ θY Z Z
Z向的行程: 100 µm 100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 200 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-561

P-561 • P-562 • P-563 PIMars纳米定位平台

X轴和Y轴采用并联运动机构，响应速度更快，多轴精度更高

型号: P-561
运动: P-561.3CD P-561.3CL P-562.3CD P-562.3CL P-563.3CD P-563.3CL P-561.3DD 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z
X向的行程: 100 µm 100 µm 200 µm 200 µm 300 µm 300 µm 45 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-562.6CD

P-562.6CD PIMars6轴纳米定位平台

6个运动轴：3 × 线性，3 × 旋转。线性行程可达200µm，偏摆角可达1mrad。PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命。请注意，图纸中以逗号作为小数点分隔符

型号: P-562.6CD
运动: P-562.6CD 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z ǀ θX ǀ θY ǀ θZ
X向的行程: 200 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-611.3

P-611.3 NanoCubeXYZ压电陶瓷系统

行程达120 µm × 120 µm × 120 µm。紧凑型：44mm × 44mm × 44mm。PICMA 压电陶瓷促动器带来长使用寿命。PICMA压电陶瓷促动器带来长使用寿命

型号: P-611.3
运动: P-611.3O P-611.3OF P-611.3S P-611.3SF 公差
主动轴: X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z X ǀ Y ǀ Z
X向的行程: — — 100 µm 100 µm

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-733.2

P-733.2 XY压电陶瓷纳米定位器

X和Y向上的行程达100微米×100微米。50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用。P-733.2CD/.2CL，尺寸单位为毫米。电容式传感器以亚纳米分辨率进行测量，且无接触

型号: P-733.2
P-733.2CD P-733.2CL: P-733.2DD 单位公差
主动轴: X, Y X, Y
集成传感器: 电容式电容式

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 P-733.3

P-733.3 XYZ压电陶瓷纳米定位器

X和Y向上的行程达100微米 × 100微米，Z向上的行程达10微米。50毫米×50毫米的通光孔径用于透射光应用。P-733.3CD / .3CL, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point.

型号: P-733.3
P-733.3CD P-733.3CL: P-733.3DD 单位公差
主动轴: X、Y、Z X、Y、Z
集成传感器: 电容式电容式

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纳米定位压电柔性铰链平台Physik Instrumente (PI)型号 S-316

S-316 压电陶瓷Z向偏摆扫描仪

S-316[H]，尺寸单位为mm 符合DIN ISO 2768-f-H的通用公差适用于所有非容许尺寸。请注意，在图中使用逗号代表小数点

型号: S-316
运动: S-316.10 S-316.10H 公差
主动轴: Z ǀ θX ǀ θY Z ǀ θX ǀ θY
Z向的行程: 12 µm 12 µm

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